這種開關(guān)的測量通常是構(gòu)成電容器的一個極板，而另一個極板是開關(guān)的外殼。這個外殼在測量過程中通常是接地或與設(shè)備的機(jī)殼相連接。當(dāng)有物體移向接近開關(guān)時(shí)，不論它是否為導(dǎo)體，由于它的接近，總要使電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，從而使電容量發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化，由此便可控制開關(guān)的接通或斷開。這種接近開關(guān)檢測的對象，不限于導(dǎo)體，可以絕緣的液體或粉狀物等。

電容式傳感器的感應(yīng)面同兩個同心布置的金屬電極組成，這兩個電極相當(dāng)于一個非線繞電容器的電極。電極的表面a和b連接到一個高頻振蕩器的反饋支路中，對該振蕩器的調(diào)節(jié)要使得它在表面自由時(shí)不發(fā)生振蕩。

當(dāng)物體接近傳感器的有效表面時(shí)，它就進(jìn)入了電極表面前面的電場，并引起耦合電容發(fā)生改變。振蕩器開始發(fā)生振蕩，振蕩幅度由一個評價(jià)電路記錄下來并被轉(zhuǎn)換為一個開關(guān)命令。

電容式接近開關(guān)亦屬于一種具有開關(guān)量輸出的位置傳感器，它的測量頭通常是構(gòu)成電容器的一個極板，而另一個極板是物體的本身，當(dāng)物體移向接近開關(guān)時(shí)，物體和接近開關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化，由此便可控制開關(guān)的接通和關(guān)斷。電容式接近開關(guān)對任何介質(zhì)都可以檢測，包括導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體，甚至可以用于檢測液體和粉末狀物料。對于非金屬物體，動作距離決定于材質(zhì)的介電常數(shù)，材料的介電常數(shù)越大，可獲得的動作距離越大。